SEMI規格とは、半導体業界の生産性向上や、技術革新の促進、従事者の訓練、新たな課題への対応に役立つために発行した規格です。SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）は、国際的な半導体産業の発展を主目的とする団体で3000社以上が所属しています。
近年、企業に対するサイバー攻撃が急増しており、操業停止など半導体業界に大きな影響を及ぼしています。サイバー攻撃から工場設備を守るために、SEMIはセキュリティ規格（SEMI E169 ／ SEMI E187 ／ SEMI E188）を発表しました。
・SEMI E169：装置情報システムセキュリティのための規格
・SEMI E187：半導体製造に関わるデータの保護を目的としたファブ装置（半導体製造装置）のサイバーセキュリティ規格
・SEMI E188：工場内システムへのマルウェア感染を予防することを目的とした装置規格
SEMI E169、E188、E187が対象とする半導体製造のおもな工程
